采用了高N.A. 的专用物镜及能最大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统,LEXT OLS4000可以准确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
有尖锐角的样品(剃刀) |
LEXT 专用物镜 |
LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统,那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品,也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。
反射率有差异的样品(金刚石电镀工具) |
双共焦系统 |
过去,激光显微镜焦点的位置都会设置在样品上反射光强度最大的区域。但是,这样的设计有时候会很难识别透明样品的正确形状,因为激光光束会直接穿过样品。LEXT OLS4000 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。
观察/测量透明材料的上表面
一般而言,使用激光扫描显微镜,很难对如金属基板上的透明膜等样品进行测量。而多层模式则可实现对此类透明膜样品的顶层进行观察和测量。
金属材料的表面涂层 传统模式 |
多层模式 |
分析透明材料的各个层
多层模式也可以对透明样品的各层进行分析。例如,即使该样品是玻璃基板上的透明树脂涂层,也可测量出透明材料下那层的形状和粗糙度,当然也可以测量出表面覆膜的厚度。
金属基板上的聚酰亚胺覆膜 |
为了排除来自外部的影响,稳定测量,LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的"混合减震机构"。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业,不需要专用的防震平台。 |
受到来自外部的 振动的影响 |
混合减震机构减轻 振动带来的影响 |
表示测量仪器的测量精度的,有2个指标。一个是测量值与真正值的接近程度(正确性),另一个则是多次测量值的偏差程度(重复性)。LEXT OLS4000是世界首台确保了"正确性"和"重复性"的激光显微镜
2个性能确保
OLS4000从镜头制造到成品全部在奥林巴斯工厂完成,并按照一系列标准严格检查后出厂。交付产品时的校正和最后的调整,由选拔出来的技术人员在实际使用环境中执行。
微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。
有DIC(高分子薄膜) |
无DIC(高分子薄膜) |
在高倍率影像观察中,视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了拼接功能,最多可拼接500 幅影像,从而能得到高分辨率和广视场范围的影像数据。不仅如此,LEXT OLS4000 还能对该广视场影像进行3D 显示和3D 计测。
拼接前的影像 |
拼接后的亮度影像 |
拼接后的3D 影像 |
登录系统画面 |
操作员可以使用自己的ID 登录系统,对影像数据库和操作环境进行自定义。报告和影像上会显示ID 号码,这样,谁、何时创建或拍摄等信息便一目了然。此外,还可以对每个ID 设置级别,管理者可以自由分配各操作员的操作范围和功能范围。 |
LEXT OLS4000 搭载了详细的向导功能,即使是初次使用者也能立即操作仪器,不需要在阅读使用说明书或培训上花费时间。也可以对向导功能进行自定义。
向导功能
每个对象反复进行固定方式的测量时,可以准确而高效地工作。如果重复测量的次数很多,就更需要该功能了。自动测量功能(可选项)通过预先设置条件,从样品的校准到获得测量结果,一系列操作都能轻松完成
* 自动测量功能是可选功能。
自动测量功能
一直以来,由于高倍率观察时的视场变窄,经常会有不知道在观察样品的哪一部分等情况发生。LEXT OLS4000 搭载了宏观图功能,始终显示低倍率观察时的大范围影像,在影像上指出"现在在这里"。
宏观图功能
电动物镜转换器 |
为了避免切换物镜时损坏样品,LEXT OLS4000 搭载了标准配置的电动物镜转换器。切换物镜时,物镜转换器自动退避,不会接触样品。不仅如此,电动物镜转换器还能同时自动对准焦点和影像中心,调整合适的亮度,实现了轻松的倍率变换操作。 |
奥林巴斯根据长年积累的经验和技术,成功的在设备中嵌入了相当于熟练操作者水平的异常值判断基准。这就是新搭载在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作仪器的操作员也能轻松获得与熟练操作者一样水平的影像。
使用INR算法 |
不使用INR算法 |
激光显微镜可以代替相关人员,快速而清楚地把观察和测量结果制作成报告。LEXT OLS4000在测量结束后,只要一个点击就可以完成创建报告任务。同时,LEXT OLS4000 还备有充实的编辑功能,可以自由自在地定制各种报告模板。
报告用户界面 |
报告完成版本 |
粗糙度测量画面 |
作为表面粗糙度测量仪的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。 |
OLS4000与接触式表面粗糙度测量仪的测量截面曲线比较(截面全长1.6 mm)
LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线, λs=2.5 μm 未处理 |
LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线, 采用λs=2.5 μm 处理 |
接触式表面粗糙度测量仪测量所得的截面曲线 |
参数一览
LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览
LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览(符合ISO25178)
使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比触针的针尖直径更细微的凹凸。而激光显微镜有着微小的激光焦斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。
接触式表面粗糙度测量仪
激光显微镜
使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到触针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在触针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜,不会被样品的表面状态所影响,可以准确的测量样品的表面粗糙度。
柔软的样品
带有粘性的样品
使用接触式表面粗糙度测量仪,其触针无法进入微小领域,所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位,能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。
焊线
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