 有尖锐角的样品（剃刀） |
采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统（能最大限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以准确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。 |
 LEXT 专用物镜 |
 使用专用物镜时的最小象差 |
 (MPLAPON50XLEXT) 高度差标准 类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度测量中的检测 |
由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。 |
 钻石电镀工具 物镜：MPLAPON50XLEXT |
OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。 |
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通常表示测量仪器的测量精度的，有2 个指标："正确性"，即测量值与真正值的接近程度，和"重复性"，即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界同时确保了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。 |
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OLS4100 从物镜制造到成品全部在奥林巴斯工厂内完成，并按照一系列严格的标准进行全面的检验并确保产品的质量后方才出厂 。交付产品时，由选拔出来的技术人员，在实际使用环境中执行校正和最后的调整。 |
高度测量  可以测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异。 轮廓测量也同样可用 |
表面粗糙度测量  可以测量线粗糙度，以及平面整体的面粗糙度。 |
面积／体积测量 根据设置在轮廓截面上的任意阈值，可以测量其上部或下部的体积。 |
粒子测量 (选购件)  可以通过分离功能使粒子自动分离，设置阈值，根据ROI 设置检测范围。 |
几何测量  可以测量影像上任意两点之间的距离。还可以测量 任意区域的面积。 |
膜厚测量 (选购件)  可以根据测出的对焦位置，测量透明介质的膜厚。 |
| 截面曲线 | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲线 | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波动曲线 | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 负荷曲线 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本图形 | R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
| 振幅参数 | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能参数 | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 体积参数 | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 横向参数 | Sal, Str |
 高分子薄膜3D 影像（上）和粗 糙度测量结果（左） |
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 焊线 |
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 真彩3D 影像 |
LEXT OLS4100 可以同时获取三种不同类型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦点3D 影像和高度信息影像。 |
 激光全焦点3D 影像 |
 高度信息影像 |
 2D 彩色影像（纸张上的墨点、物镜20x） |
 3D 彩色影像（纸张上的墨点、物镜20x） |
 无DIC 的激光影像（高分子薄膜） |
 有DIC 的激光影像（高分子薄膜） |
 无DIC 的激光影像（5x 物镜） 高度差标准 类型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany |
 有DIC 的激光影像（5x 物镜） 高度差标准 类型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 实际高度：6 nm |
 无HDR 的彩色影像 （致密的织物、物镜20x、变焦1x） |
 有HDR 的彩色影像 （致密的织物、物镜20x、变焦1x） |
 复合减震机构 |
为了排除来自外部的影响，稳定测量和成像，OLS4100 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的"复合减震机构"以稳定操作环境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子进行测量作业，不需要专用的防震平台。 |
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扫描大面积区域时有两种拼接方法可用：获取实时影像时的手动模式和快速获取影像时的自动模式。操作非常快速简单——2D 拼接只需一键操作即可开始，并且可立即获得大面积的拼接影像。自动模式下有五级拼接尺寸可用，分别为：3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。对于影像上不需要的部分，可以使用简单的鼠标或控制杆操作手动删除。 |
 全局扫描获取 |
 带宽扫描获取（1/8） |
 拼接区域：方形（21×3）63 片 |
 拼接区域：圆形（3 点） |
 智能扫描模式 |
 传统获取模式 |
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