性能特点
1)X4DIC系列为最新型FPD检查显微镜,专为LCD行业 / TFT玻璃 / COG导电粒子压痕、粒子爆破检查
2)X4DIC系列机型采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
3)X4DIC系列,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
4)X4DIC系列机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源
5)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
主要技术规格:
★ 无限远色差校正光学系统(CSIS)
★ 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,(可选:PL10X22R、PL15X16)
★ 无限远铰链三通观察筒,30°倾斜
(可选:无限远正像铰链三通观察筒,25°倾斜)
★ 无限远长工作距平场消色差金相物镜(标配)
LMPL 5X/0.15 WD10.8mm LMPL 10X/0.3 WD10mm
LMPL 20X/0.45 WD4mm LMPL 50X/0.55 WD7.8mm
LMPL 100X/0.80 WD2.1mm
(可选:DIC专用物镜、OLYMPUS无限远明场物镜)
★ 1/2CTV摄像接口(0.5X),C接口,可调焦
(可选:1XCTV摄像接口(1X),C接口,可调焦)
★ 内定位5孔转换器,带DIC插槽
★ 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程30mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和防止打坏切片、快速聚焦的随机上限位装置
(可选:透反两用机架,内置5W LED透射光照明系统,上下光可独立控制)
★ 反(落)射照明器,柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调;带斜照明装置;90-240V宽电压,单颗3W LED 6500K,亮度可调
★ 4英寸双层机械平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积230×215mm,行程105×105mm;金属载物台板。(另有透反两用平台)
(可选:6英寸三层机械移动平台,平台面积445×240mm,行程158×158mm;带快速移动装置;玻璃载物台板,透反两用平台)
★ 可选配蓝色、绿色、红色干涉滤光片
★ 360度旋转式检偏镜插板、Φ30起偏镜插板
★ 可选配标准微分干涉(DIC)装置、OLYMPUS微分干涉(DIC)装置
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