MX61A大尺寸智能型全自动显微镜详细介绍:
始终提供观察影像的光学系统
明视场观察 |
新暗视场观察 |
传统的暗视场观察 |
亮度光圈调节示意图 |
物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。 |
深紫外线观察用物镜 |
MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能好。新开发的多点方式的传感器的采用,大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中,实现了追踪观察位置的实时对焦。 |
物镜UIS2系列产品 |
在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。 观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。 |
明视场观察 |
暗视场观察 |
微分干涉观察 |
荧光观察 |
近红外线观察(左)和可见 光线观察(右)的比较 |
适应分析需求的Analysis-Engine(分 析引擎)模块 |
"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来,必需进行若干个操作才能实现的观察方法、深紫外线观察等的切换,只要点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。 |
显微镜控制软件显示画面 |
显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF,还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2,能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方,快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。 *1对应本公司推荐的电动载物台 *2对应奥林巴斯DP21或本公司推荐的IEEE1394数码照相机 |
倾斜观察筒示意图 |
备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。 |
洁净对应的电动物镜转换器 |
备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。 6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。 |
高倍率观察图像示意图 |
采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。 |
手控开关操作部 |
配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的最合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。 |
晶圆搬送机 |
可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用,实现了对90 μm极薄晶圆的搬送,能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。 |
自动载物台 |
备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现检查、不良分析功能。 |
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